1、樣品制備

 

　　樣品制備是二次離子質譜儀分析的前提。通常需要對樣品進行表面清洗、制備表面平整、裝載樣品等處理。因為樣品的表面化學成分和結構會影響次級離子的質量和分布，所以樣品制備需要充分考慮分析的需要。

 

　　2、樣品加載

 

　　樣品加載是將樣品放置到樣品表面并且固定好，以備加速粒子的轟擊。樣品通常通過真空吸引于樣品臺上，并通過機械臂進行移動和調整位置，以獲得最佳轟擊位置。

 

　　3、儀器調整

 

　　儀器調整是保證二次離子質譜儀正常運行的關鍵步驟。它包括對加速器調整、碰撞單元調整、磁場調整、檢測器調整等多個方面的操作。主要目的是保證二次離子的產生和檢測正常進行，并且使得分辨率和靈敏度達到優(yōu)。

 

　　4、數據處理

 

　　數據處理是將質譜圖中得到的次級離子質量峰與樣品的化學成分和結構相對應，得到表面化學成分、結構和分布等信息的步驟。數據處理通常利用專門的軟件進行，在計算和分析中實現。